스핀코터(CSC 8" Programmable) spin coater, 스핀코터

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본 시험장치는 물체를 회전시켜서 물체 위에 올려진 액체를 원심력에 의해 코팅하는
기기이다. 따라서 웨이퍼,기판, 유리 재료 등에 다른 코팅액을 박막으로 형성시키고자
할 경우에 사용하며 약 1000rpm에서 10,000rpm 정도 사이를 사용하고 회전수를
프로그램 세팅할 수 있다. 옵션으로 진공펌프, 디스펜싱 장치를 선택 할 수 있다.
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Model : G3P-8  (Programmable)	Model : G3-8  (Non-Programmable)	Model : 6812P
- Bowl Size : 8, 12, 15 inch - Rotational Speed : 0 ~ 9,999 rpm - Accel/Decel :       Ramp times from 0.1~25.5 sec. - Dwell Time :       0 ~ 999 sec,  increment 0.1 sec - Dispense Time :      10~ 30 sec (Program mdeol only) - Vacuum input : 0.55CFM at 5 psi - Dimension : App. 406x530x300mm - Power : AC115/230V 50/60Hz	- Bowl Size : 8 inch only - Rotational Speed : 0 ~ 9,999 rpm - Accel/Decel :        Ramp times from 0.1~25.5 sec. - Dwell Time : 0 ~ 999 sec (0.1 sec) - Dimension : App. 310x390x270mm - Power : AC115/230V 50/60Hz	- Bowl size : 12" inch - Vacuum chuck : CS type, Size 10.5" inch - Speed : 0~9,999rpm,            programmable in 1rpm increments - Tolerance : 1~3 rpm F.S. - Acdceleration/Deceleration time : 0.1~30 - second in 0.1 sec increment - Dwell time : 0~999 seconds                 in 1 second increment - Dispense time (Program type only) Applications : Photoresists, Polymides,           Metal-organics, Dopants,           Silica films, etc. - LCD display on the front panel - Program storage (Program model) :          Up to 3 recipes, 8-steps each - Dimensions : 337x457x274mm, 20Kg - Power : AC220-240V 60H

스핀 코팅
스핀 코팅(Spin Coating)은 평평한 기판에 매우 얇고 균일한 필름막을 입히는 경우 선호되는 공법이다.
스핀 코팅이란 유체를 기판 위에 미리 배치시킨 후, 기판을 매우 빠른 속도로 회전시키면서원심력에 의해 \
유체를 펼치게 됨으로써 코팅이 진행되는 방식이다.
기판의 회전은 원하는 필름 두께를 얻을 때까지 계속되며, 이 때 유체는 기판의 가장자리로부터 떨어진 곳에 위치하게 된다.
또한 스핀 코팅 공정은 증발 건조 공정을 포함한다.

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